The IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing addresses the challenging problems of manufacturing complex microelectronic components, especially very large scale integrated circuits (VLSI). Manufacturing these products requires precision micropatterning, precise control of materials properties, ultraclean work environments, and complex interactions of chemical, physical, electrical and mechanical processes.
《IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING》期刊已被查看： 次
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2区 SCIE Scopus 工程技术 3区 PHYSICS APPLIED 物理：应用 CONDENSED MATTER 物理：凝聚态物理 ENGINEERING ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MANUFACTURING 工程：制造
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|---|
| 期刊投稿网址：http://mc.manuscriptcentral.com/tsm-ieee |
| PubMed Central (PMC)链接 ：http://www.ncbi.nlm.nih.gov/nlmcatalog?term=0894-6507%5BISSN%5D |
| 通讯地:IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC, 445 HOES LANE, PISCATAWAY, USA, NJ, 08855-4141 |
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| 版面费 | 审稿速度 | 收录数据库 | 是否oa | 研究方向 |
|---|---|---|---|---|
| 平均6.0个月 | SCIE,Scopus | No | 工程技术-工程：电子与电气 |
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | Top期刊 | 综述期刊 |
|---|---|---|---|---|
| 工程技术 | 3区 | PHYSICS APPLIED 物理：应用 PHYSICS CONDENSED MATTER 物理：凝聚态物理 ENGINEERING ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 ENGINEERING MANUFACTURING 工程：制造 |
否 | 否 |
| 版本 | 按学科 | 分区 | 影响因子 |
|---|---|---|---|
| 2023-2024年最新版 | ENGINEERING ELECTRICAL & ELECTRONIC ENGINEERING MANUFACTURING PHYSICS APPLIED PHYSICS CONDENSED MATTER |
Q2 | 2.3 |
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