电子工业专用设备杂志

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高频栏目:

电子专用设备研究-100%-期平均发文量5篇

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趋势与展望-66.7%-期平均发文量2篇
半导体制造工艺与设备-50.0%-期平均发文量4篇
材料制造工艺与设备-66.7%-期平均发文量4篇
测试测量技术与设备-50.0%-期平均发文量3篇
先进光刻技术与设备-33.3%-期平均发文量2篇
先进封装技术与设备-66.7%-期平均发文量2篇

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其它-16.7%-期平均发文量1篇
2023年03期其他-16.7%-期平均发文量1篇
测试·测量技术与设备-16.7%-期平均发文量4篇

研究院所-76.3%
公司企业-23.7%

/有基金-1.1%
/初级/无基金-1.1%
/副高/无基金-2.2%
硕士/无基金-1.1%
硕士/初级/无基金-8.6%
硕士/副高/无基金-12.9%
硕士/副高/有基金-3.2%
硕士/正高/无基金-1.1%
硕士/中级/无基金-25.8%
硕士/中级/有基金-2.2%
专科/中级/无基金-3.2%
本科/初级/无基金-2.2%
本科/副高/无基金-17.2%
本科/副高/有基金-1.1%
本科/正高/无基金-1.1%
本科/中级/无基金-10.8%
博士/初级/无基金-1.1%
博士/副高/无基金-1.1%
博士/中级/无基金-3.2%

1、投稿方式：邮箱投稿。

2、出刊日期：双月刊，逢双月25日出版。

2023年11月29日星期三

《电子工业专用设备》杂志介绍

《电子工业专用设备》是由中国电子科技集团公司主管,中国电子科技集团公司第四十五研究所主办,国内外公开发行的科技期刊。国家一级检索期刊,是《中国期刊网》、《中国学术期刊(光盘版)》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录期刊,是万方数据资源系统数字化期刊群入网期刊。

本刊是以报道国内外半导体设备为主，反映微电子制造前、后道的新工艺、新设备在科研、技术工程和应用方面的发展趋势与成就的主要刊物。刊出的论文体现了技术上的先进性、方法上的新颖性、工程上的实用性、设计上的指导性、内容丰富、信息量大、涵盖面广、适用面宽，栏日设有：趋势与展望、专题报道、新设备与新工艺、封装技术与测量、设备改造与维护等。

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